供應鏈_光測試設備
主軸
CPO(Co-Packaged Optics)及矽光子元件從晶圓到系統封裝需經過 4 個測試節點(Insertion 1-4),每個節點有完全不同的測試設備組合。本頁記錄各 Insertion 的測試設備玩家、測試地點,以及台廠的切入位置。
與 供應鏈_CPO 的分工:供應鏈_CPO 記錄「光引擎零組件」的製造供應鏈;本頁記錄「光引擎如何測試」的測試設備供應鏈。
全覽:4 Insertion 設備地圖

Insertion 1-2 測試地點在台積電(晶圓廠);Insertion 3 移至 OSAT(日月光);Insertion 4(CPO Switch 系統封裝後)在日月光/京元電,需 ATE + FT Handler + SLT Handler。台廠可切入的主要角色標示為橘色。(來源:SRS 光測試期中產業報告,2026-07)
各 Insertion 詳細拆解
Insertion 1|PIC Wafer Level Test(測試地點:台積電)
光子 IC(PIC)在晶圓廠完成後的第一道測試。測試 PIC 上的環形共振器(Ring Resonator)、光調變器(Modulator)、光電二極管(PD)、耦合器(Coupler)等元件的 DC 電性與光學特性。

PIC 晶圓包含多種光學元件,每種元件測試項目不同:Ring Resonator 測頻寬/波長/偏壓;PD 測 Dark Current/Responsivity;Coupler 測 Insertion Loss/Optical Return Loss。(來源:SRS,2026)
| 角色 | 玩家 | 台廠 | 狀態 |
|---|---|---|---|
| ATE / Tester | Teradyne、Advantest | 2360_致茂(市)(驗證中) | 外資主導,致茂搶入 |
| Prober(光路探針台) | ficonTEC、TEL | 6223_旺矽(櫃)(光電探針台,驗證中) | 旺矽切入驗證 |
| 光學對準(FAU/光柵) | FormFactor | — | 仍外資壟斷 |
| 量測儀器 | Keysight、Advantest | — | 外資主導 |
測試重點:光柵耦合(Grating Coupler)將光路引出晶圓面,偏差 0.5µm → 50% 光功率流失;測試精度要求 < 0.3µm。
Insertion 2|EPIC Wafer Level Test(測試地點:台積電 → 耦合製程移至日月光)
EIC(Electrical IC)與 PIC 混合鍵合為 EPIC 後的晶圓級測試。需雙面同測:上方傳統探針卡接觸 EIC 電性接點,下方光纖光學探針耦合 PIC 光學面(需開槽晶圓卡盤)。
測試後進入 FAU 貼合耦合製程(Insertion 2 後製程,在 OSAT 日月光進行):將光纖陣列(FAU)精密對準並 UV 固化貼合至 OE(光引擎)Die 上。
| 角色 | 玩家 | 台廠 | 狀態 |
|---|---|---|---|
| ATE / Tester | Teradyne、Advantest | — | 外資主導 |
| 雙面光電探針台 | ficonTEC、旺矽 | 6223_旺矽(櫃)(開槽卡盤雙面台,認證中) | 旺矽核心機會 |
| 光學對準 | ficonTEC | — | 外資壟斷(交期 9-12 個月) |
| FAU 貼合耦合設備 | ficonTEC、萬潤、ADS tech | 6187_萬潤(市)(UPH 優於 ficonTEC,3Q26 首貢獻) | 關鍵瓶頸 |
| 耦合地點(OSAT) | 3711_日月光投控(市) | — | ASE/SPIL 為主要耦合廠 |
瓶頸:FAU 耦合對位精度 < 0.3µm,是整條 CPO 產線最難良率管控點。萬潤以更短交期挑戰 ficonTEC 壟斷。
Insertion 3|OE Die Level Test(測試地點:日月光)
光引擎(OE = OE Die,含 FAU 的組件)在系統封裝前的 Die 級測試。同時驗證光性(插入損耗、波長、光功率)與電性(SerDes 訊號完整性、224G PAM4 高速訊號)。
| 角色 | 玩家 | 台廠 | 狀態 |
|---|---|---|---|
| ATE / Tester + 光學對準 | Teradyne、Advantest、ficonTEC | 2360_致茂(市)(ATE + 奈米對準,主導 Insertion 3) | 致茂核心強項 |
| Prober | 旺矽 | 6223_旺矽(櫃)(Die Level 探針台) | 確認切入 |
| 光通量檢測儀器 | 汎銓、光焱 | 6710_汎銓(市)(矽光子 Debug 設備;IR-OM 光損偵測) | 小眾但高利潤 |
| 測試地點 | 3711_日月光投控(市) | ASE/SPIL | OSAT 主測試地 |
台廠優勢:Insertion 3 是致茂最明確的切入點(整合式 ATE + 光學對準 + 量測三合一平台);旺矽探針台與致茂 ATE 協作;汎銓 IR-OM 設備做光路 Debug。
Insertion 4|CPO Switch Package Level Test(測試地點:日月光 / 京元電)
最終封裝後的系統級測試——ASIC(CPO Switch)與光引擎整合成完整 CPO 模組後,進行光電同測(外部雷射注入 + 電性測試 + SLT 系統驗證)。
| 角色 | 玩家 | 台廠 | 狀態 |
|---|---|---|---|
| ATE / Tester | Teradyne、Advantest | — | 外資主導 |
| Burn-in | Aehr、Advantest | — | 外資主導 |
| 量測儀器 | Keysight、Anritsu、ficonTEC | — | 外資主導 |
| FT Handler(光電同測,主力) | 2360_致茂(市)(ATE 主導)、7769_鴻勁精密(市)(3kW ATC,開發中 2H26 量產目標) | 兩家台廠 | 最高價值環節 |
| SLT Handler(純光測試) | 2360_致茂(市)、7769_鴻勁精密(市) | 兩家台廠 | 致茂 SLT 可省 ATE 直接測 |
| 測試地點 OSAT | 3711_日月光投控(市)、2449_京元電子(市) | — | 日月光/京元電 為主 |
台廠集中度高:Insertion 4 是 CPO 測試設備 ASP 最高、台廠參與最深的環節。致茂主 ATE/SLT,鴻勁主 FT ATC Handler(已有數百台 CPO 電性測試 ATC Handler 出貨,Insertion 4 光電同測 2H26 目標量產)。
供應鏈結構圖
flowchart TD PIC["PIC 晶圓\n(TSMC COUPE)"] -->|"Insertion 1\nPIC Wafer Test"| I1 subgraph I1["Insertion 1|TSMC"] I1T["ATE:Teradyne/Advantest\n致茂(驗證中)"] I1P["Prober:ficonTEC/TEL\n旺矽(驗證中)"] I1M["量測:Keysight\n對準:FormFactor"] end EPIC["EIC+PIC 鍵合\n→ EPIC"] -->|"Insertion 2\nEPIC Wafer Test"| I2 subgraph I2["Insertion 2|TSMC → 日月光"] I2T["ATE:Teradyne/Advantest"] I2P["雙面探針台:ficonTEC\n旺矽(認證中)"] I2F["FAU 耦合:ficonTEC\n萬潤(3Q26 首貢)\nADS tech"] end OE["OE Die\n(含 FAU)"] -->|"Insertion 3\nOE Die Level Test"| I3 subgraph I3["Insertion 3|日月光"] I3T["ATE+光學對準:Teradyne/Advantest\n致茂(主導)"] I3P["Prober:旺矽"] I3O["光通量:汎銓\n矽光子 Debug"] end CPO_PKG["CPO Switch\n(系統封裝)"] -->|"Insertion 4\nPackage Level Test"| I4 subgraph I4["Insertion 4|日月光 / 京元電"] I4T["ATE:Teradyne/Advantest\nBurn-in:Aehr"] I4H["FT Handler:致茂 / 鴻勁(2H26)"] I4S["SLT Handler:致茂 / 鴻勁"] end I4 --> CSP["終端 CSP\n(AWS / Google / Meta)"] style I1 fill:#e8f5e9 style I2 fill:#e8f5e9 style I3 fill:#fff9c4 style I4 fill:#ffebee
台廠對照表
| 公司 | 切入 Insertion | 核心產品 | 狀態 | 時機 |
|---|---|---|---|---|
| 2360_致茂(市) | 1(驗證)/ 3(主導)/ 4(主導) | ATE + 光學對準;FT/SLT Handler | 3/4 已確認,1 驗證中 | 已有明確訂單 |
| 6223_旺矽(櫃) | 1(驗證)/ 2(認證)/ 3(確認) | 光電探針台、雙面探針台 | 各階段認證進行中 | 認證 → 量產 |
| 6187_萬潤(市) | 2 後製程(FAU 耦合) | 光耦合設備(UPH > ficonTEC) | 3Q26 首次貢獻 | 搶 ficonTEC 份額 |
| 7769_鴻勁精密(市) | 4(FT + SLT Handler) | CPO ATC FT Handler(光電同測) | 2H26 量產目標 | 高 ASP,已有 Insertion 3 電性 Handler 基礎 |
| 6710_汎銓(市) | 3(光通量量測) | 矽光子 Debug 設備(IR-OM 光損偵測) | 年底首台設備出貨 | 小眾高利潤 |
| 3711_日月光投控(市) | 2 後(FAU 耦合地點)/ 3 / 4 | OSAT 測試地點 | 現有 CPO OSAT 基礎 | 作為場地持有者受益 |
| 2449_京元電子(市) | 4 | OSAT 測試地點 | — | 測試外包需求 |
外資競爭者
| 公司 | 角色 | 競爭地位 |
|---|---|---|
| ficonTEC(德) | 光學對準 + CPO 耦合設備(Insertion 1-3) | 實質壟斷,交期 9-12 個月;萬潤/旺矽挑戰 |
| Teradyne(US) | ATE(Insertion 1-4 全程) | 與 Advantest 雙寡頭 |
| Advantest(JP,6857.JP) | ATE + Burn-in | 同上 |
| FormFactor(US) | 光學對準探針台(Insertion 1) | 工程驗證階段主力 |
| Keysight(US) | 量測儀器(Insertion 1/4) | 廣泛使用 |
| Aehr(US) | Burn-in 系統(Insertion 4) | IC Burn-in 專家 |
投資觀察
2026-05-21 Aletheia 更新
260521_2360致茂_aletheia_ATE 估計致茂在 NVIDIA 32x OE switch IC 流程中,可能是 Insertion 3 OE die tester 與 Insertion 4 light-in/light-out tester 的主要甚至獨家供應商;報告估計 2026–2028 年兩段 TAM 約 NT300 億以上,市占與營收金額屬券商 estimate,仍需以 POR、客戶驗證與出貨確認。
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CPO 測試是「picks-and-shovels」環節:即使 CPO 量產時程下修,測試設備仍比組件廠商更早採購,且每顆 OE Die 必測,不受架構路線影響(任何 CPO 設計都需走 4 個 Insertion)。
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台廠集中在 Insertion 3/4:附加值最高的兩個節點,致茂與鴻勁在 Insertion 4 的 FT/SLT Handler 互補而非純競爭(致茂偏 ATE 主機整合,鴻勁偏 Handler 熱控)。
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旺矽受益於「無論哪種 CPO 架構都需要探針台」:PIC 架構(TFLN / SiPh / InP)無論哪條路線勝出,測試端的探針台需求都成立。
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ficonTEC 替代為中期風險:萬潤、旺矽均在挑戰 ficonTEC 壟斷;若台廠切入成功,整體光耦合設備供應鏈本土化比例將大幅提升(設備交期縮短,有利 CPO 量產加速)。
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